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        1. CIF掃描電鏡等離子清洗機

            CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
          1. 詳細信息

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          產品特點

          雙等離子清洗源

          一機多用

          高效低損傷

           

          技術參數

          產品型號

          CIF-SEM

          法蘭接口

          KF40CF40

          工作氣壓

          0.3-3Pa

          等離子電源

          13.56MHz射頻電源,射頻功率5-150W可調,


          遠程等離子源,自動匹配器

          氣體控制

          標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

          氣源選擇

          根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

          真空控制

          美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

          真空保證

          真空計和電磁閥安全互鎖

          操控方式

          7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

          電源/功率

          220V,50/60Hz,300W

          可選配件

          可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min 

          質量保證

          二年質保,終身維護


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