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        1. CIF實驗室型等離子清洗機CPC-G系列

            CIF推出全新一代CPC-G系列小型等離子體清洗設備,顛覆傳統等離子體清洗設備設計理念,采用頂置真空倉,上開蓋下壓式鉸鏈開關方式,上置式360度自由取放樣品托盤設計,具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價比高,處理快速高效,特別適合于大學,科研院所和光電企業實驗室使用。
          1. 詳細信息

            

          產品特點

          PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。

          7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示。

          手動、自動兩種工作模式。

          數字流量計控制,控制更準確。

          符合人體功能學的60度傾角操作界面設計,操作方便,界面友好。

          頂置真空倉,上開蓋設計下壓式鉸鏈開關方式

          上置式360度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

          安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

          技術參數

          型號

          CPC-G

          CPC- G plus

          艙體尺寸

          H120xΦ270mm  

          H120xΦ270mm

          艙體容積

          6.8L

          6.8L

          射頻電源

          40KHz

          13.56MHz

          匹配器

          自動匹配

          自動匹配

          射頻功率

          10-300W可調

          10-150W可調

          氣體控制

          質量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路)

          有效處理尺寸

          Φ270mm 圓盤

          產品尺寸

          L525xW425xH345mm

          包裝尺寸

          L645xW540xH560mm  

          時間設定

          1-99分59秒

          真空泵

          抽速4-8m3/h

          氣體穩定時間

          1分鐘

          真空度

          100pa以內

          AC220V 50-60Hz 

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